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摘要： 针对液晶显示器(Liquid crystal display，LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端，研究TFT-LCD Mura 缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI)标准中Mura缺陷的测量规范和LCD视觉检测试验平台，针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和整体的亮度不均匀等特点，分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法，综合几个方面的研究，建立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明，所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹，准确的分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测，检测方法与人的视觉特性相似，具有较好的鲁棒性。对于50个带有Mura缺陷的LCD样本，有48个样本被成功检测。

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《TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法》

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文件号：303471

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