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为获得更优性能的无铟透明导电薄膜, 需要在不损害薄膜透光性的同时提高导电性能. 本文采用紫外光刻和磁控溅射, 在Cu网格的表面覆盖Al掺杂的ZnO (ZnO:Al, AZO) 薄膜, 制备透明导电的AZO/Cu网格复合膜. Cu网格的线宽低至15 μm, 透光性极高, 并且导电性能得到大幅度改善, 覆盖稳定的透明导电AZO薄膜为Cu网格提供屏障保护. 通过六边形网格形状的设计和工艺参数的优化, 制备出的复合膜的可见光波段透过率达到86.4%, 方块电阻降低至4.9 Ω/sq, 同时实现了高透光性和高导电性. 成本低廉、光电性能好且环境稳定的AZO/Cu网格复合膜在透明电子领域具有广泛的应用前景, 将其用于透明电加热膜, 可在较低电压下实现快速、均匀、稳定的电热响应, 有望作为透明的面发热膜应用于除雾除霜玻璃、热疗贴膜等.

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《透明导电ZnO:Al/Cu网格复合膜及其电加热性能》

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文件号：296522

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