一种新型的高维持电压可控硅

时间:2022-07-22 17:44:28
作者:尹沙楠
关键字:静电放电,可控硅,高维持电压,N型掺杂层,ESD,SCR,highholdingvoltage,NIL
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可控硅(SCR)作为静电放电(ESD)保护器件,因具有高的鲁棒性而被广泛应用,但其维持电压很低,容易导致闩锁问题。针对高压集成电路的ESD保护,提出了一种新颖的具有高维持电压的SCR结构(HHVSCR)。通过添加一个重掺杂的N型掺杂层(NIL),减小了SCR器件自身固有的正反馈效应,从而提高了SCR的维持电压。Sentaurus TCAD仿真结果表明,与传统的SCR相比,改进的HHVSCR无需增加额外的面积就可将维持电压从1.88 V提高到11.9 V,可应用于高压集成电路的ESD防护。

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一种新型的高维持电压可控硅
《一种新型的高维持电压可控硅》
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