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大行程柔性微定位平台在运动过程中不可避免地产生伴生转动现象，并对其定位精度造成消极影响。为降低伴生转动对平台定位精度的影响，提出一种基于柔性杆的三移一转（3-PPPR）型大行程柔性微定位平台，基于线弹性梁理论模型并考虑柔性杆轴向形变，对两移一转（PPR）柔性运动副伴生转角进行了理论建模，并基于此完成了对所提平台在单轴、双轴及三轴驱动时产生伴生转角的理论分析；再采用有限元分析对理论模型进行验证。最后探究了柔性杆尺寸参数与平台伴生转角之间的灵敏度关系，为所提平台性能提升奠定了基础，并据此提出了改善所提平台运动性能的优化方案。结果表明：3种驱动条件下平台伴生转角理论值与仿真值最大相对误差为2.46%。

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《大行程柔性微定位平台的伴生转动分析》

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文件号：072075

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