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摘要： 提出一种快速制作聚二甲基硅氧烷(Poly(dimethylsiloxane)，PDMS)微流控芯片复型模具的新方法，并对其制作工艺进行研究。以液体光刻胶为模具材料，在液态下通过紫外光曝光使光刻胶固化而形成模具微结构。在整个制作过程中不需要对液体光刻胶进行烘烤，与目前使用较多的以SU-8光刻胶(一种负性环氧型光刻胶)为模具材料的制作方法相比，不仅简化制作工序，大大缩短制作时间，且避免加热产生的内应力导致的结构变形。该方法不需要昂贵的制作设备，所用原材料成本低廉。试验结果表明，所制作的模具微结构侧壁陡直、表面光滑，最大深宽比达5.7，在对PDMS材料的复型试验中获得良好的形状和尺寸精度。

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《PDMS微流控芯片复型模具的新型快速制作方法》

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文件号：305309

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