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摘要： 热丝化学气相沉积(Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD)方法制备金刚石薄膜设备简单，成本低廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产，其中衬底温度是沉积高质量CVD金刚石膜的重要参数之一。基于此，首先分析大面积HFCVD系统的热交换过程，建立大面积HFCVD系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯热辐射模型相比，本模型更加接近实际系统，并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模型开展对大面积HFCVD系统衬底温度场的有限元仿真研究，得到HFCVD系统衬底温度场的三维分布规律，并讨论热丝直径、热丝温度、热丝根数、热丝－衬底距离和水冷散热系数等对衬底温度大小及均匀性的影响。仿真结果表明，在适宜金刚石膜生长的参数范围内，热丝参数和衬底接触热阻对衬底温度大小有显著影响，由于衬底内部的三维热传导使得衬底温度场更加均匀，各参数对衬底温度场的均匀性影响不大。研究结果为高质量制备金刚石膜提供理论基础。

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《HFCVD衬底三维温度场有限元法模拟》

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文件号：305294

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