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在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下，采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察，分析研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明：在Si衬底上生长的ZnO薄膜，压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大；在相同溅射气压(0.7Pa)下，Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的。

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《衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响》

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文件号：192837

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